真空計(jì)不同分類方法

　　真空計(jì)，又叫真空表，是測(cè)量真空度或氣壓的儀器。一般是利用不同氣壓下氣體的某種物理效應(yīng)的變化進(jìn)行氣壓的測(cè)量。在科研和工業(yè)生產(chǎn)中廣泛使用。真空計(jì)種類繁多，為了研究和使用方便，合理分類是很重要的。角度不同，分類方法也不同，在這里筆者介紹兩種常用的分類法。

　　按真空計(jì)刻度方法分類

　　（1）真空計(jì)：直接讀取氣體壓力，其壓力響應(yīng)（刻度）可通過自身幾何尺寸計(jì)算出來(lái)或由測(cè)力計(jì)確定。真空計(jì)對(duì)所有氣體都是準(zhǔn)確的且與氣體種類無(wú)關(guān)。屬于真空計(jì)的有 U 型管壓力計(jì)、壓縮式真空計(jì)和熱輻射真空計(jì)等。

　　（2）相對(duì)真空計(jì)：由一些與氣體壓力有函數(shù)關(guān)系的量來(lái)確定壓力，不能通過簡(jiǎn)單的計(jì)算進(jìn)行刻度，必須進(jìn)行校準(zhǔn)才能刻度。相對(duì)真空計(jì)一般由作為傳感器的真空計(jì)規(guī)管和用于控制、指示的測(cè)量器組成，讀數(shù)與氣體種類有關(guān)。相對(duì)真空計(jì)的種類很多，如熱傳導(dǎo)真空計(jì)和電離真空計(jì)等。

　　按真空計(jì)測(cè)量原理分類

　　按真空計(jì)測(cè)量原理分類，可以分成直接測(cè)量真空計(jì)和間接測(cè)量真空計(jì)。直接測(cè)量真空計(jì)系直接測(cè)量單位面積上的力，屬于這類真空計(jì)的有：

　　（1）靜態(tài)液位真空計(jì)。利用 U 型管兩端液面差來(lái)測(cè)量壓力。

　　（2）彈性元件真空計(jì)。利用與真空相連的容器表面上受到壓力的作用而產(chǎn)生彈性變形來(lái)測(cè)量壓力值的大小。

　　壓力為 10-1 Pa 時(shí)，作用在 1cm^2 表面上的力只有 10-5 N，顯然測(cè)量這樣小的力是困難的，但可根據(jù)低壓下與氣體壓力有關(guān)的物理量的變化來(lái)間接測(cè)量壓力的變化。屬于間接測(cè)量真空計(jì)的有：

　　（1）壓縮式真空計(jì)。其原理是在 U 型管的基礎(chǔ)上再應(yīng)用波義耳定律，即將一定量待測(cè)壓力的氣體，經(jīng)過等溫壓縮使之壓力增大，以便用 U 型管真空計(jì)測(cè)量，然后用體積和壓力的關(guān)系計(jì)算被測(cè)壓力。

　　（2）熱傳導(dǎo)真空計(jì)。利用低壓下氣體熱傳導(dǎo)與壓力有關(guān)這一原理制成。常用的有電阻真空計(jì)和熱偶真空計(jì)。

　　（3）熱輻射真空計(jì)。利用低壓下氣體熱輻射與壓力有關(guān)的原理。

　　（4）電離真空計(jì)。利用低壓下氣體分子被荷能粒子碰撞電離，產(chǎn)生的離子流隨壓力變化的原理。如熱如熱陰極電離真空計(jì)、冷陰極電離真空計(jì)和放射性電離真空計(jì)等。

　　（5）放電管指示器。利用氣體放電情況和放電顏色與壓力有關(guān)的性質(zhì)判定真空度，一般僅能作為定性測(cè)量。

　　（6）粘滯真空計(jì)。利用低壓下氣體與容器壁的動(dòng)量交換即外摩擦原理。如振膜式真空計(jì)和磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)。

　　（7）場(chǎng)致顯微儀。以吸附和解吸時(shí)間與壓力的關(guān)系計(jì)算壓力。

　　（8）分壓力真空計(jì)。利用質(zhì)譜技術(shù)進(jìn)行混合氣體分壓力測(cè)量。常用的有四極質(zhì)譜計(jì)、回旋質(zhì)譜計(jì)和射頻質(zhì)譜計(jì)等。